seinen Reinigungsprozess bei der Herstellung der
nächsten Generation von Siliziumwafern für die
Mikroprozessorenherstellung benötigt. Das bedeutete
Anforderungen und High-End-Schwierigkeiten:
Die Reinigung des Wafers ist nämlich ein kritischer
500 μm dünnen Siliziumscheiben mehrmals mit
verschiedenen chemischen Flüssigkeiten präzise
besprüht, um ein optimales Ergebnis zu erzielen.
Dadurch werden höchste Yield-Raten gewährleistet
und gleichzeitig Ausschüsse deutlich minimiert.
118 Auch ELRA CAN Industrie 4.0
Antriebstechnik für höchste Ansprüche
Fit für die Ansprüche der Industrie 4.0 zu sein und mit den steigenden Anforderungen der
Industrie Schritt zu halten, wird immer wichtiger. ELRA ist vorne mit dabei und beweist
mit einem herausfordernden Projekt, was mit smarter Antriebstechnik alles möglich ist.
ugegeben kommt es nicht alle Tage vor,
dass ein Kunde aus der Halbleiterindustrie
eine High-End-Lösung für
eine High-End-Produktion mit High-End-
Schritt im Herstellungsprozess jedes Prozessors.
Dabei werden die empfindlichen und nur
INDUSTRIE-GUIDE 2018/19
Das wirkt sich schlussendlich positiv auf den Preis
für Endverbraucher aus. Die Ansprüche sind demgemäß
hoch, die fachlichen Anforderungen für die
Entwicklung ebenso, der Spielraum für Fehler
hingegen liegt bei null.
Herausforderung angenommen …
Damit dieser wichtige Reinigungsprozess zuver lässig
gelingt, bedarf es jedoch einiges an Planungsarbeit
und Antriebstechnik. Zu den Grundan forderungen
des Kunden gehörte eine durch den Motor komplett
durchgängige Hohlwelle, um die Schläuche für
die chemischen Flüssigkeiten durchführen zu können.
Die Welle selbst musste gegen diese Chemikalien
beständig sein, da während des Sprühprozesses
Dämpfe entstehen, welche die Welle angreifen
können. Eine sehr gleichmäßige und genau überwachte
Drehbewegung war ebenso gefordert, da der
Sprüharm direkt auf der Welle sitzt und eine Auslenkung
von über 250 mm aufweist.
Sowohl die Leistungselektronik als auch das Kommunikationsmodul
sollen dabei zwecks einfacher
Verkabelung direkt im Antrieb integriert sein. Im
Geiste von Industrie 4.0 bestand der Wunsch beim
Kunden, dass der Status des Antriebs über eine
CAN-Bus-Schnittstelle der übergeordneten Steuerung
nahezu in Echtzeit mitgeteilt wird. Um es
noch interessanter zu machen, musste dazu die
Zeit für die Entwicklung, das Testen und die
Implementierung weniger als ein Jahr betragen.
Bisherige verfügbare Antriebslösungen am Markt
Z
Bei der Halbleiterproduktion ist höchste Präzision in allen
Bereichen erforderlich.